电机能够胜任的任务。它需要在强腐蚀性化学气体中保持稳定，在高速旋转中提供强大的真空吸附力，同时绝对杜绝任何油脂或微粒的污染。

今天，我们揭秘LS电气专为半导体设备打造的特殊电机，看它如何通过“特制化”设计，驱动晶圆完成每一次精密的旋转。

●需求：极高的转速与均匀性。

●方案：提供5,000~6,000 rpm的高速旋转方案，额定转矩覆盖0.64~2.50Nm（功率0.3-0.7KW），确保光刻胶厚度均匀，显影液分布一致。

应用场景 2：清洗与刻蚀设备

●需求：不仅是高速旋转，还包括低速大扭矩的抛光。

应用方案：

●高速抛光：采用定制款大中空轴电机（5,000~6,000 rpm）。

●精密研磨：针对晶圆抛光工艺，提供定制款DD（直驱）马达，在200~300 rpm的低速下提供高达60Nm的惊人转矩，实现绝对的低速平稳性。

系统协同：不只是电机，更是整体运控方案

LS电气提供的不仅仅是单台电机，而是基于EtherCAT总线的高速