半导体制造对洁净度、精度和可靠性要求极高。史陶比尔凭借卓越的技术实力，推出专为洁净室设计的六轴机器人，广泛应用于晶圆加工、掩膜版处理及后道工艺等环节。
史陶比尔CR/SCR机器人具备高负载能力、低颗粒排放、内部走线设计，满足ISO 2至ISO 4级洁净标准。无论是FOUP搬运还是碳化硅晶圆处理，史陶比尔都能提供稳定可靠的自动化解决方案，助力客户实现高效生产与品质保障。
晶圆洁净存储系统
在空间有限的洁净室中，如何高效存储高价值晶圆？史陶比尔与Fabmatics联合开发CubeStocker系统，采用TX2-90XL SCR六轴机器人为核心，实现200个晶圆盒的高密度存储。系统自带洁净空气供应，满足ISO洁净标准，紧凑设计可灵活部署于狭小空间。CubeStocker不仅提升存储效率，更为晶圆生产提供洁净缓冲区，助力客户降本增效。
晶圆清洗工序中的“无接触搬运”
在晶圆清洗环节，史陶比尔SCR超净室机器人与德国PTW SpinTec公司合作，采用伯努利传输系统实现无接触搬运。机器人精准操控，保障清洗效果一致性，有效提升产品良率。其超紧凑设计节省空间，低颗粒排放符合ISO 2级标准，专为高洁净度环境打造。这一创新方案重新定义了晶圆清洗的安全与效率，为半导体制造注入新动能。
关于史陶比尔机器人
史陶比尔机器人事业部专注于高性能工业自动化解决方案，产品涵盖四轴和六轴工业4.0时代实现智能制造转型，满足复杂工艺流程下的自动化需求。