"电压免疫"伺服如何提升0.5%良率？鸣志M5交流伺服系统通过SEMI F47权威认证-数控专题

"电压免疫"伺服如何提升0.5%良率？鸣志M5交流伺服系统通过SEMI F47权威认证

时间:2025-04-22 作者: 来源:中国工控网

SEMI F47标准：

半导体制造设备的电压暂降防护基准

SEMI F47 Standard:

Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity

“2022年7月27日，台湾媒体报道，台湾某科学园区发生电力瞬间电压下降情况，造成园区内某半导体制造工厂受到影响。虽然事后涉事厂商出面澄清，该科学园区的电压暂降事件没有造成完全停电，生产也已逐步恢复。但有爆料称，该工厂5nm及4nm产线仍出现晶圆报废的情况。”

在半导体行业，电力供应的稳定性对生产至关重要。尤其是在晶圆制造过程中，电压暂降可能直接影响光刻机，化学机械抛光（CMP）以及刻蚀工艺等晶圆生产设备，微小的电压波动都可能导致生产设备发生故障甚至停工，导致整批晶圆报废，带来数亿美元的经济损失。为了解决这个问题，1999年，国际半导体设备和材料产业协会（SEMI），制定了SEMI F47标准，以规范半导体生产设备对电压暂降（Voltage Sag）的耐受能力。

SEMI F47标准规定，半导体制造设备必须在特定的电压暂降情况下仍能保持正常运行。例如，50Hz条件下，当供电电压降至标称值的50%时，设备应能维持至少0.2秒的运行（10 cycles）；电压降至70%时，设备应持续运行0.5秒（25 cycles）；电压降至80%时，设备应能够支撑至少1秒（50 cycles），具体如下图表所示。这一标准的实施，极大地提高了半导体生产设备抵抗电网波动的能力，确保了半导体制造工艺的连续性。

鸣志M5交流伺服：符合SEMI F47标准，确保半导体设备稳定运行

电机作为执行系统的关键零部件，已得到广泛应用。针对半导体行业对电压暂降防护的严格要求，鸣志（MOONS'）重磅推出了符合SEMI F47标准的M5交流

二、安全功能与快速响应

STO（安全转矩关闭）：硬件级保护机制可在电压异常时瞬间切断功率输出，避免设备损坏，同时通过UL Solutions SIL3/PLe/Cat4功能安全认证，符合IEC 61508等国际标准。

3.5kHz高速响应：基于26位高精度编码器与先进算法，速度环带宽达行业领先水平，确保在电压恢复后迅速重载运行，减少生产停顿。

四、适用于半导体生产设备

尤其适用于光刻机、刻蚀设备、化学机械抛光（CMP）设备等对电源稳定性要求极高的半导体制造设备。