
对于FAB厂Stocker而言,存储只是基础需求。与AMHS上位系统进行实时通讯,实现MCS帐料自动管理,减少搬运拥堵,确保机台排产高效,是客户的高阶追求。
众所周知,AMHS主要由OHT空中搬运小车、Stocker晶圆存储立库、MCS/OHTC/STKC等软件系统组成。其中OHT作为技术最复杂的部分,其在不同FAB厂的需求也不尽相同,当前主流8吋晶圆厂的物料搬运系统因轨道岔路的数量和类型相对较少,搬运效率相对较低。而12吋晶圆厂轨道布局极其复杂,包含各类岔路、弯轨、高低轨道和升降装置;且因产能提升,对搬运速率的要求更高,需要配置更多的传感器、激光雷达等产品与控制系统;同时OHT的调度算法也更为复杂,软件迭代速度需紧跟客户需求。
工业软件+装备智能”三大核心能力,加速软硬件能力的整合。公司自主研发的OHT天车,涵盖前道6吋/8吋SMIF Pod和12吋FOUP,后道Magazine,满足不同工序工厂的载具搬运需求;并提供多种轨道模组,满足12吋晶圆厂复杂的Layout需求;在OHT设备与人员高效协作方面,通过11种安全防护传感器,有效识别与自动预警天车速度、障碍躲避、碰撞检知、料盒断裂、升降晃动、硅片坠落、料盒位置等运行状况,打造高效的自动化、洁净化、低震动化的物流自动搬运方式。此外,格创东智通过设备、软件、算法和应用多维度自主研发成果结合,助力客户业务成功,提供AMHS在调度层、控制层、设备层的全栈化产品,释放客户生产的无限可能。