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抛光工艺:
所有的Zeeko设备都可以执行以下工序:
1. 形状自适应磨削——一种类似于可延展性的研磨形式进行抛光。
2. 气囊抛光——经典的Zeeko工艺。
3. 射流抛光和超声射流抛光。
测量:
大型机器的内置测量包括:
1. 内置干涉仪系统并和Zeeko相匹配的测量塔,集成在机器上。
2. Zeeko 子孔径成像处理拼接软件。
3. 白光技术作为附件集成在内,用于表面结构分析。
4. 可在选定的机器上内置和集成的摆动臂轮廓测量。
5. 可在选定的机器上安装综合扫描五棱镜轮廓仪。
软件:
新Zeeko ZephyrCAM软件具有早期版本的所有特点,以及便于使用的界面和能力,例如:
1. 生成用于抛光多个表面和多个侧面的工具路径。
2. 使用“特殊”Zeeko设计或“用户设计”工具。
3. 通过绘制工具表面几何形状,使用不同的加工角度进行抛光。
4. 运行“关闭虚拟枢轴”工具。
5. 抛光有难度的几何形状,如半球、超半球、Wolter掠入射反射镜和许多其他复杂表面。
6. 达到3埃以下的粗糙度。
7. 控制和消除许多中频效应,并从多种复杂的工具路径中选择来控制中频效应的产生。
8. 从多种不同的工具路径技术中选择限制和控制边缘效应。
9. 使用Zeeko“SAG”(形状自适应磨削)工具的范围。 在6轴机器人和5轴加工中心上进行预抛光。
机器型号及功能简介
1.
IRP 50
IRP 50配有所有可选的抛光液循环系统,(蠕动泵,低压和高压集成SMU)。它也可以提供所有三种不同的抛光工艺SAG(形状自适应磨削式抛光),经典气囊抛光和射流或超声射流抛光)。它是一个非常好的量产型机器。
2.
IRP 100
IRP 100比IRP 50机器外形尺寸更大,但具有相同的功能。它不仅是一款同样高效的量产机器,也是一款可用于科研的好机器。
3.
IRP 200 MKI
IRP 200 MKI是Zeeko系列机器中的经典款机器并仍在生产中,企业可用于实验室研究和小批量多品种产品的生产。
4.
IRP 200 MKII
IRP200 MKII 是在MKI基础上发展而来的量产型机器,配有直接驱动的A,B轴,直线电机和线性编码器。具有使用寿命长,维护成本低,高性能等特点。
5.
IRP 400
IRP 400是“II型”虚拟枢轴机中外形尺寸最小的,因此非常适合长半径光学器件。较短半径光学器件更适合于IRP 600和较小的IRP 200机器。