主要包括以下组件：
1光学侧视或前视探头：有几种标准尺寸和长度可选，也可以定制
3运动控制系统
4PC、显示器和操纵杆
光学3D轮廓仪TM系统
特点和优势
NOVACAMTM光学3D轮廓仪TM系统拥有基于光纤的探头，易于与精密载物台、第三方坐标测量机、数控机床或
1尺寸测量
在XY载物台上使用光学3D轮廓仪TM系统采集的硅晶圆表面
3厚度测量
可用于测量单层或多层、透明或半透明材料。图为人工晶状体的2D横截面
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