
在半导体的世界里,一切尺寸都必须是极微小的。而伺服系统一直在半导体应用中起到举足轻重的作用,高精准、高能效的伺服驱动器能够应用在不同设备上,从而提高设备运行效率和生产质量。近年来,随着半导体行业不断创新发展,释放更多对于伺服产品的需求,为伺服市场带来了新的增长驱动力。
而今,深谙半导体对精准度,稳定性要求高的行业痛点,Elmo探索出了更为灵活、更精确的电机同步运行时产生偏差,再加上不均匀负载的影响,可能会造成单边负载磨损严重。这种摩损会向空气中释放粒子,污染洁净室。
Platinum Maestro运动控制器
使用Elmo的EASII 软件及其高级的误差补偿功能,可以帮助用户创建一个同步误差补偿表格,可以动态补偿龙门同步偏差。经过误差补偿,龙门双驱运动时刻保持同步和平滑,从而极大地减少电机的内部摩擦和空气中的杂质。
所有14轴通过EtherCAT总线以1毫秒的循环时间进行同步,同时支持第三方设备。
Elmo的Platinum Maestro运动控制器作为主控制器,协调14轴在系统中的运动。
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