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保障百级洁净室可靠运行,监控方案台达这样做!

洁净室 又称无尘室, 是一种特殊设计和建造的环境。主要目的是在制造、科学研究或其他需要高度洁净和控制的应用中,提供一个极低微粒和污染物水平的空气环境。

例如:在半导体、光电面板的制造过程中,被加工件的导电性能会被环境中的金属离子破坏掉,洁净室可避免这种情况的发生。

洁净室依据洁净程度,可划分为零级、十级、百级、千级、万级乃至十万级、三十万级,其中数值越低,代表洁净室的等级越高。

洁净室的运营条件苛刻且复杂,不仅需将空气中的微粒子、有害气体、有机质等污染物进行排除,更需通过连续的控制手段将影响室内环境的各项指标维持在标准数值内。

不同等级的洁净室有不同的控制标准,以百级洁净室为例:

智能制造实践的工程建设经验,台达为此项目提供了从现场诊断、方案规划、工程设计到项目执行、保障服务等支持,满足了业务方的建设进度和工程质量需求。

台达解决方案

Scada设计主监控系统,精准布局监控点位,监测洁净室内各项指标数值,联动上位管理系统,联动冰水机组、冷却水泵、热水泵、空压机、纯水等系统,保证百级洁净室呈现预想效果。

2、应用


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