
GSFD系列低压伺服驱动器占用空间小,具有高精度、高性能、高可靠性的特点,适用于电子制造、半导体、PLC可用IO逻辑控制驱动器运动任务
● 最多256个IO控制,可实现组合逻辑
5. 龙门双驱功能
● 双轴耦合控制,两个轴平均值代表系统质心,差值代表龙门偏差
● 一个通道指令输入,从轴跟随,精度高,响应快
● 调试简单,配置迅速
● 双轴回零,龙门纠偏
● 主从轴同步误差补偿
7. 力控参数可以实时编辑
● 开放性参数配置,可以通过EtherCAT总线指令进行相关参数的在线更改
NO.3 GSFD力控应用案例
1. ZR模组
随着半导体设备国产化进程的不断加快,在半导体设备上使用的ZR模组也不断取得突破。固高伺创合作伙伴推出的ZR系列产品在精密力控效果上达到国际一流水平,特别是高频短距离运动速度快、精度高,获得了客户的一致认可。固高伺创和ZR模组厂商不断创新发展,实现了更精确的Z轴开环力控控制效果:带弹簧的Z轴结构压力在4g-300g的情况下,可达到≤±2g的精度,同时满足R轴高精度的定位要求,快速稳定到位。