1 序言
精密化、微型化是现代制造业的重要发展方向。钛合金作为一种重要的轻质合金，具有比强度高、耐蚀性强以及生物相容性好等特点，被认为是制造金属微结构件的理想材料。随着制造技术的发展，钛合金必将在航空航天、生物医疗和精密仪器等领域得到更多的应用。然而，钛合金本身导热系数低、弹性模量小且高温下化学亲和力强，属于典型难加工材料。同时，金属微结构件体积小、特征复杂，对精度及表面质量要求高，采用传统加工工艺普遍存在加工质量差、刀具磨损快等现象。因此，研究和探寻高效、高品质的钛合金微制造技术已成为当前的一个热点。
本文按增材、等材和减材成形类别对现有的钛合金微制造方法与技术进行了综述，介绍了它们的成形原理与工艺特点，并对钛合金微制造技术的未来发展方向提出了展望。
2 钛合金增材微制造技术
钛合金增材微制造技术以数字化模型为基础，在保护气氛下打印出二维截面，堆积连续的二维截面进而获得三维实体。常见的钛合金增材制造技术有选区激光熔融（SLM）、选区电子束熔化（EBM）等。
SING等通过SLM技术制备出图1所示的钛钽合金多孔试样，发现多孔结构的尺寸精度、力学性能对激光功率更为敏感；MIRANDA等研究了SLM技术加工薄壁零件的能力，通过数学模型分析了加工参数的影响，并以Ti6Al4V为原料制备出微板、微柱结构；LIU等通过EBM制备出具有优良组织结构的Ti2448多孔试样，且该试样有较高的强度模数比。